半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
活动游戏背景
该产业群园众多了十余家半导体技术相关内容单位,设计构思日治理 技能5000吨,所需治理 来源不同的单位的混合着污水。基于各单位产量工艺设备差别的大,污水组分麻烦反复无常,治理 等级较高。
废水处理工艺部分及源头
废气处理方法一般其中涵盖四种类:高溶液密度设计废气处理方法(光刻胶、显影液液等)、含氟废气处理方法(刻蚀制作工艺)和腐蚀性废气处理方法(洁净制作工艺)。层次性因素其中涵盖异丙醇、四甲基氢氧化反应铵等难光降解设计物,还有氟化物、挥发酚等三聚氰胺树脂感染物。废气处理方法COD震荡大(500-3000mg/L),氟化物溶液密度100-500mg/L,挥发酚50-150mg/L。
处理过程过程
适用"类别汇集+分质操作+聚集广度操作"的什么是创新的模式:
公司企业组织结构几大类预进行处置:含氟废水处置重新收集整理并预进行处置
工业区管线划分推送体系
宗合调准池义均环境质量
多级混凝土沉淀出的取除漂浮物和橡胶胶体部分
高效化海洋生物发生流化床反应器(HBR)正确处理生物碳影响物
臭氧杀菌催化阳极氧化阳极氧化溶解难降解有机化学物
反融合体统做好脱盐治理
分光光度计线紫外光线灯消毒确定溢水稳定
独特设为了线下监测方案机系统的和自动的投药机系统的,如何应对饮用水质价格波动。
终结目的
系统的程序运行两年来,解决体验稳定可靠性可靠性。有水出COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氧化还原电位<5mg/L,总氮<15mg/L,满足河流Ⅳ类要求,要素造纸废水处理于物流园林绿化植物及保压塔皮肤补水,造纸废水处理率多于30%。去年减轻丰富水用约40万吨,为物流园林的企业增加有水费数百人万元左右。