半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体设备中高档测封服务设施涉重废水处理——MVR强行再循环零排工程项目
新项目原型
半导体器件芯片舒适首测活动,企业规模150万立米/天,是第一个半导体器件芯片首测搭配涉重污废水处理方法 零排活动。首测关键点的镀镍、镀铜、引线前端框架家电清洗会产生含镍含铜污废水处理方法 ,经济区规范"无尾水外排",产水全不造纸废水处理于产线。
水硬度优点与要点
废气以含镍为之主要(溶度10–100毫克/升),伴氢化物发生器铜、锌,pH震荡大(2–12),还要光刻胶残余物的多量可挥发物。首测厂安装地点紧,规定清理公用设施征占小;零排意思着浓水没法建筑垃圾清运多少,都要本地服务汽化沉淀反馈控制。
补救加工路线地图
总体走"分质收集整理 → 预备处理除杂 → 化工沉垫除镍 → 活性炭过滤 → UF+多级RO → MVR硬性嵌套循环蒸发掉 → 冷却水水循环":
含镍线先调pH到10–11,加药氢被氧化物钠出现Ni(OH)₂凝固,加个加硫钠纵深气体吸附残留物镍(加硫镍Ksp比氢被氧化物镍更小,可以让镍压到0.1毫克/升有以下);
沉淀自己喷水经多物料滤水水+安保滤水水后进UF,再进考试内容一级RO,产水间接回产线的清洗;
RO浓水(含盐+稳定度巨资属)进MVR强硬配置化掉器,强硬配置能扛高含盐积垢,化掉器内置再线冲洗,更易堵;
MVR冷却水水回到最初回收水盆,蒸发器残液委外焚烧秸秆或算作垃圾防范,全部整个生产车间无固体外排。
重要专用设备优势之处阐明
MVR立即巡环较之高级降膜化掉,巡环空气流速高、导热面不可以结镍盐/碳酸盐垢,适用于公测一些"排水量太小但污水水质杂"的消费场景;混合式化撬装设计制作占地面比以往化掉塘+多效化掉实施方案小60%之上;特殊难闻气味侧整套搭配生物体滤池,把设定池和厌氧颗粒污泥间的特殊难闻气味收集整理后挥发成CO₂和水,防止公测厂紧挨办工区的特殊难闻气味网络投诉。
清理使用效果与经济效益
出液镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,远高于《电镀工艺感染物释放标准规定》表三;都150立方米/天产水回收于测封产线擦洗,用作等量新鲜松茸水;危险废弃物(多效蒸发残液+工业废水)量比民俗"积淀+释放"基本模式减约70%。对富士康侧,测封项目流程环保节能准入条件卡点遭打通;