佛山某半导体集成ic集成ic制造出厂，晶圆加工厂时候中形成含硅、氟的特殊化工业工业废水，制作加工治理大小1200吨/日。工业工业废水化学物质更复杂，包含的微米级硅颗粒剂及氢佛酸，传统艺术加工治理技巧根本无法考核标准。 废污水含量及源头 首要污染源物 ：氢氧化铁硅（100-500nm粒级）、氟阳离子（200-300mg/L）、异丙醇 来历工艺技术 ：晶圆刻蚀污废水 处理工艺（45%）、CMP无机化学机械机器制造cnc精密机械加工污废水 处理工艺（40%）、机器冲刷水（15%） 解决加工程序 什么是创新按照"电化学奠定+特种作业膜区分"技巧线路： 钙盐滤渣 ：污泥脱水氯化钙除去氟铁离子（转为CaF2凝固） 斜管沉淀池响应 ：包覆二沉池剂保证橡胶胶体部分硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm管径膜挪用微细粒状 反渗入系统的 ：脱盐率>98%，回收并率75% 多效蒸发沉淀 ：浓水段变现氟化物零释放 终于特效 氟化物氧化还原电位：<8mg/L（高于中国4级细则10mg/L） 硅含铁：<5mg/L 水能源回收率：70%用做放置封闭式冷却塔补湿 危险废弃物减药：蒸发掉渣子量较传统化生产工艺下降60%