某半导体芯片生产加工客户因晶圆擦拭制作工序带来含氨废渣，供水量200吨/天。废渣中除氟化物外还含带氟化物和氢化物发生器天价属，操作分值大。偏远地区废气耍求耍求氟化物＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 废水处理方法组成及种类 晶圆擦拭生产废水（一般来自）：含挥发酚200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀制作工艺废气：含少量铜、镍等天价属，pH值波动性大 CMP研磨设备工业废水：含硅粉末及挥发酚 操作鑫霖环保工作流程 选用"化学工业乳浊液+膜分离处理+折点氯化"团体工艺设备： 预处置 ：加药CaCl2除氟，操作pH在7.5-8. 反渗透装置控制系统 ：去掉0.01μm不低于颗料物 反渗透膜性和浓缩液 ：将挥发酚精炼至1000mg/L不低于 折点氯化 ：精准把控好氯加药量，将化学需氧量转换为惰性气体 化合物传递 ：担保巨资属不合格 以后感觉 高锰酸盐指数稳定可靠＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 天价属成分不超检验限 水回收利用率达75% 工业废水制造量可以减少40%