某半导体材料存储芯片营造厂在晶圆制造整个过程中,的使用硅烷开始硅外加种植,排放洗洁塔产生了高氨水浓度含硅废渣。废渣更具pH动荡大(2-11)、硅浓度高的特质,传统型清理方案易会出现硅垢阻塞疑问。
生产废水材质及种类
电镀废水核心组成成分为:
溶于性硅酸盐
:SiO₂盐浓度达1000-1500mg/L
氢空气氧化钾/氢空气氧化钠
:干洗塔酸碱性干洗液留
颗料硅
:納米级SiO₂固体
痕量砷
:原辅材料残渣带进去
除理工作流程工作流程
科学创新主要包括"两极采和+膜净化+化掉沉淀"生产技术:
一級中合
:用CaO转换pH至4-5,自动生成硅酸钙石雕文化沉淀,硅消除率60%。
特殊结合
:加Na₂CO₃将pH上升至9,进两步悠长岁月中余量硅,并接用镁剂除砷。
反渗透膜系统的
:0.02μm陶瓷图片膜过滤程序纳米级级硅粒状,通量不稳定性在80LMH。
MVR蒸馏器
:果汁高盐电镀废水,晶粒出Na₂SO₄副厂品,水回收率超90%。
既定郊果
总硅从1500mg/L降到5mg/L接下来
砷成分从0.8mg/L减少为0.01mg/L
装置无积垢作业已超2年
每一年的环保再生资源回收氢氧化钾钠晶状体约800吨