该晶圆制造出厂应用于华东位置位置,基本生產8寸大半导体设备晶圆,平均工作废水的消耗量上涨约800吨。考虑到生產进程中选择大量的盐酸参与晶圆蚀刻,引致工作废海里氟化物浓度值可高达200-300mg/L,远超一个国家的废气条件(10mg/L下)。
废水处理方法成份及来自
污废水 通常是来自于三种步骤:
晶圆蚀刻生产工艺
:含容液值氟化物(HF)、硝酸银及少许天价属
电学机械制造抛光处理(CMP)工业废水
:含納米级硅颗粒肥料、有机会络合剂
专用设备洗掉废水处理方法
:含异丙醇、高锰酸盐指数等有机酸物
外理工序方案
采取"生物凝固+沥青混凝土凝固+广度油烟净化器"二级处置体系:
4级解决
:污泥脱水氯化钙和氢脱色钙,形成了氟化钙沉定,氟化物除去率达85%
三级清理
:获取PAC(缔合氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),去掉悬浊液态废弃物物
3级工作
:根据多媒介滤出器和活性氧炭吸出,喷水氟化物含量维持在8mg/L以上
重点的设备比如:pH定时控制控制系统、斜管析出池、板框刮刀离心机(工业废水脱水怎么办)。
决定成果
楼盘运营两年监测技术大数据显示信息:
氟化物均衡浓度值:7.2mg/L(少于国家的标)
COD除去率:92%
淤泥含水分率:≤65%
年回报氟化钙副產品约150吨,保持市场化凭借