半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
业务情况
该行业为中国一流的光电器件测封行业,座落在广州深圳形地方,核心展开品质集成电路芯片的片区和芯片封装测试方法。根据当地城市环境符合要求标准,行业直接决定实行废渣零废气排放工作。大型项目于22年重新启动,202一年6月开建投入使用,加工数量为200吨/日,总投资的约2000万美元。
污水因素及来原
某项目的性划区污水存在一下优势特点:
高溶液浓度值氟化物,关键出于晶圆分割后的进行维护清洁程序,氟铁离子溶液浓度值高至150-200mg/L
带有nm级硅粉粉末,粒度多在100-500nm之間
巧妙加热器端差较高,COD在500-800mg/L
包含的氢化物发生器天价属如铅、镉等
水的电导率高,常在2000-3000μS/cm
整理鑫霖环保过程
为达成污水处理技术量对方,的工艺制定强调满足废液的分类分类整理和信息利用:
废水处理工艺定义采集而来软件
:将含氟污水与其他污水离婚获取
物理乳浊液除氟
:采取多级钙盐结晶法,协调高效率的结晶池
精致氧化的治疗
:嗅氧催化反应钝化降解塑料难处置生物碳物
膜沉淀软件
:选择DTRO碟管式反固化,高浓7的倍数为10倍
蒸馏凝结
:MVR机诫液体再减小减压蒸馏器办理浓水
干澡机系统
:将结晶体盐干躁后是实业副品牌外售
补救效用
控制系统启用的数据展示:
氟化物清除率>99.9%,留水氟亚铁离子<1mg/L
COD总除掉率>98%,出水量COD<20mg/L
水自然资源环保再生资源回产出率>95%,仅造成多量结晶体盐
第一年可出售高品性循环水约2万吨
晶粒盐饱和度符合制造业级的标准,实现目标材料化通过
工程项目除了达成了焦化废水零废气,还完成材料二手回收带来了约80万块/年的特别投资收益。